中科院苏州纳米所广东（佛山）研究院规划效果图。

2018年11月，中科院苏州纳米所广东研究院（佛山）签约进驻南海，致力于产业技术领域核心关键技术突破、共性技术研发、技术系统集成、工程化示范应用和产业化，力争建设成为纳米技术、半导体等领域的公共技术支撑与服务平台、高端人才培养与集聚平台、科技项目引进及落地平台、高技术企业引进及孵化平台，为南海产业高质量发展提供技术支撑。

平台小档案

2018年11月，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所与佛山市政府、南海区政府签署了共建中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院的框架协议，合作期限为2019年~2039年。

研究院以促进区域创新发展为基础、以专业特色学科为依托、以研发具有重要应用前景的产业技术为目标，采用“纳米加工平台+研究中心+育成中心”的运营模式，建设集公共服务、创新研发和孵化育成为一体的新型研发机构。

为南海提供哪些服务

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开发半导体器件标准工艺，提供电子和压电传感等材料和器件的加工服务

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提供人员培训、技术咨询服务

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提供超净场地服务

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提供技术输出和项目委托开发服务

建设规划

1

纳米加工平台

建设20000平方米超净场地和配套设施空间，外围空间按照国家规范建设配套设施，道路能够进出大型交通工具，周边环境符合相应要求。

●建设8吋MEMS生产实验线，满足应用于智能感知和认知芯片制造产业的需求。

●建设8吋光子集成技术生产实验线，满足光通信产业需求。

●建设光电材料和器件生产实验线，满足通信产业的需求。

●建设8吋生物芯片生产实验线，满足医疗健康产业的需求。

2

育成中心

包括项目孵化平台，技术转移平台，知识产权、金融服务平台，离岸孵化器，教育培训平台，协同创新平台等。

3

半导体光电子材料与器件研究部

包含半导体紫外光电子材料外延生长中心、半导体紫外光电子器件及封装应用实验室和半导体光电子材料与器件测试表征中心、办公场所等。 并建设半导体光电子材料外延生长中心、半导体光电子器件工艺中心、半导体光电子器件封装实验室 、半导体光电子器件应用实验室等。

4

人员构成

研究院将组建150人的研发、管理、产业化及技术支撑队伍，力争从国内外引进并培养省市级领军人才10~20人。目前正在接洽多位博士拟到研究院工作，全面开展校招等人员招聘。

下一步计划

2020年全员搬迁至新园区，纳米加工平台全面试运行 ，科研项目全面展开。未来五年将整合中科院苏州纳米所资源，充分发挥研究院的平台和支撑作用，加快引导半导体领域研发团队科技成果转移，并孵化一批创新型科技型企业，促成优势科研团队与佛山市规模骨干企业进行深度产学研合作，共建企业重点实验室、工程技术中心等高水平联合研发平台，形成产业技术协同创新联盟。

整理/珠江时报记者 黄海绵