珠江时报讯记者彭美慈实习生唐伊祁通讯员李婧潼黎敏珊报道凝聚“芯”动能，共筑“芯”高地。7月11日，广东中科半导体微纳制造技术研究院半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式在南海举行，广东微纳院半导体微纳加工中试平台正式通线，二期产业孵化区封顶，一批半导体项目现场签约，为南海半导体产业注入“芯”动能。佛山市副市长陈新文、南海区区长王勇出席仪式。

广东微纳院是南海重点科创平台，由佛山市、南海区两级政府共同建设，是中国科学院苏州纳米所支持的广东省省属事业单位，聚焦芯片制造环节，搭建先进半导体工艺研发体系，形成半导体材料外延生长、芯片加工、封装测试等全链条中试服务模式，为佛山市半导体产业强链延链、大湾区“芯”动能高质量发展提供技术平台支撑。

中试平台是连接科研成果与产业应用的重要桥梁，在芯片制造环节，中试尤为重要。早在2019年，广东微纳院就瞄准芯片制造核心环节，启动中试平台建设。广东微纳院副院长王晖介绍，平台具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力、2-8吋氮化镓基材料外延生长能力，将面向大湾区提供中试流片、联合研发、共建产线等技术服务和半导体工艺技能人才培训服务。

广东微纳院成立以来，已为百余家企业、科研院所和高校提供技术服务和人才输出，成为广东半导体产业的重要支撑平台之一。活动现场，苏州敏芯微电子技术股份有限公司、科大讯飞股份有限公司等12家企业、科研院所与广东微纳院签订中试合作协议。

近年来，佛山立足产业优势，大力发展半导体产业，以差异化路径、错位布局融入广东半导体版图，广东微纳院正是佛山加速发展半导体产业的缩影。依托半导体中试平台，广东微纳院于2023年启动二期建设。二期定位为产业孵化区，建设6万平方米专业化半导体产业载体，其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度进入试运行阶段，将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。活动现场举行了二期封顶仪式，同时有6家企业与广东微纳院签订了意向落户协议。

陈新文表示，作为佛山市首批中试平台授牌单位之一，希望广东微纳院继续发挥引领作用，深化“半导体中试平台+产业孵化育成”的创新运营模式，为企业解决技术瓶颈和难题，推动佛山半导体产业向更高层次、更广领域发展。